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小型離子濺射儀 型號:M31/SD-900

小型離子濺射儀 型號:M31/SD-900

簡要描述:
小型離子濺射儀 型號:M31/SD-900

技術(shù)參數(shù)
旋轉(zhuǎn)真空泵轉(zhuǎn)速-------------- 50 Hz: 8m3/h (2.2 L/s) / 60 Hz: 9.6m*/h (2.6 L/s)
JI限真空度------------------- 2 Pa
濺射電流----------------- ≤0~ 20 mA
工作壓-------------------- 30Pa- 7 Pa

產(chǎn)品時間:2026-02-09

訪問量:1707

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

生產(chǎn)地址:

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小型離子濺射儀 型號:M31/SD-900

技術(shù)參數(shù)
旋轉(zhuǎn)真空泵轉(zhuǎn)速-------------- 50 Hz: 8m3/h (2.2 L/s) / 60 Hz: 9.6m*/h (2.6 L/s)
JI限真空度------------------- 2 Pa
濺射電流----------------- ≤0~ 20 mA
工作壓-------------------- 30Pa- 7 Pa
抽真空時間------------------ <5 Min (2 Pa )

小型離子濺射儀 型號:M31/SD-900

真空測量-------------------測量范圍從大氣壓到2x 10的負2次方 mbar
腔體尺寸-------------------- φ 150 * 120mm (高)抗刮石英玻璃
磁控靶源-----------------.靶尺寸φ50*0.1mm(金) /濺射靶源:金、銀、鉑
操作方---------------------操作手冊
重量/尺寸------------------. 45kg / 360mm長x 300mm寬x 380mm高
工作電源.------------------. AC 220V 50Hz
電源功率-------------------- < 1500W
冷卻方式---_----------------風冷



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